カボレート・カボリットAZ 8区画管炉
一、製品概要:
Carbolite AZ管式炉には8つの制御領域があり、加熱長さ全体で必要な温度を得る。
8つの温度制御領域があり、保温材は厚く、加熱素子は対称に分布し、温度均一性が±5°Cより優れている。その主な利点は、平均温度領域が延長できるように、8つの独立した温度制御領域があることです。また、温度制御エネルギーは非常に正確であり、線形昇温、ピーク値、その他の温度場を実現することができる。AZ管式炉の典型的な応用は化学蒸着である。化学蒸着には温度勾配が必要であり、物質は温度の高い端で気化し、温度の低い端で冷却して基板の上に堆積する。すべての温度制御領域は、個々の熱電対によって独立に温度を監視するように制御されている。
二、標準パラメータ:
1、構造がFHA/FHC管式炉と同じである
2、8区の温度制御、異なる温度場の需要を満たす
3、加熱区間内で温度勾配を形成でき、線形昇温/降温
4、平均温度帯の長さを拡大する
5、急速な昇温と冷却
6、全自動運転
7、品質管理のためのデータ記録
8、設定値中継制御方式
三、オプション部品:
1、一連の精密なデジタルコントローラ、多段プログラミングとデータレコーダを提供し、これらはRS 232、RS 485またはイーサネット通信インタフェースを搭載することができる
2、過熱保護(貴重なサンプルを保護する或いは無人の操作を推薦する)
3、石英、セラミックス、金属など、さまざまなサイズと材質の作業管を選択可能
4、L型スタンド、垂直使用
5、断熱保温栓と放射防止遮蔽栓による熱損失の防止温度均一性の向上
6、制御可能な雰囲気及び真空コンポーネントの詳細
7、真空システムは機械ポンプ或いはタービン分子ポンプを選択可能、作動管内径60 mm以上
8、要求に応じてシーメンスSPSコントローラ、タッチスクリーン、質量流量計を選択可能
9、その他の仕様の作業管と加熱長さは、お問い合わせください
四、技術パラメータ:
モデル | AZ 13/32/360 | AZ 13/50/430 | AZ 13/80/810 | AZ 13/110/1000 |
作動管直径(mm) | 32 |
50 | 80 | 110 |
加熱長さ(mm) | 360 | 430 | 810 | 1000 |
最高温度(℃) | 1350 |
1350 | 1350 | 1350 |
寸法:外部高さx幅x奥行き(mm) | 990 x 1800 x 500 | 990 x 1800 x 500 | 990 x 1800 x 500 | 1200 x 1800 x 520 |
重量(Kg) | 500 | 550 |
600 |
650 |
パワー(Kw) | 1.5 |
2.9 |
7.3 |
11.3 |
電圧(V) | 400 (3P) | 400 (3P) | 400 (3P) | 400 (3P) |
電流(a) | 3 x 4 | 3 x 9 | 3 x 12 | 3 x 19 |
ヒューズ(A) | 3 x 16 | 3 x 16 | 3 x 16 | 3 x 25 |